BD系列豪华版探针台
平台快速及微调1micron重复性的上下功能,搭配点针卡加功能可作元件Die Stepping的Die to Die应用,晶圆吸盘配置独特超大XY旋钮配置增加握感,使元件达到快速25mm/转及精细调整10micron重复性,广受半导体厂及IC设计公司好评。
Spec:
·Platen Up/Down Available
·Microscope X-Y Stage
·Side Driven Screw Chuck Stage
·Up to 12" Vacuum Chuck
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