EverBeing的四点探针应用四个共线探针接触材料测量晶圆的片电阻,这种开尔文四线检测方法通过使用单独的对载电流和电压检测电极,代替传统的伏安法,能够进行更精确的测量,优点在于分离的电流和电压电极,消除了布线和探针接触电阻的阻抗。